人才库
 
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姓  名:靳鹏云
职  称:副研究员
电子邮件: sandy@mail.iee.ac.cn
学术方向:
微纳加工工艺与微电子专用设备电子束曝光系统研究
详细介绍:

2002年—今,参加中科院知识创新重大项目“纳米级电子束曝光系统实用化”的研究工作,负责工艺实验和系统的总体调试,同时进行微纳加工工艺的研究。
2000年—2002年,参加中科院知识创新重大项目“电子束缩小投影成像曝光系统”的研究工作,负责标记检测系统和对准的研究。
1994年—2000年,从事电子束曝光技术及MEMS工艺的研究。
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希望招收的考生专业:弱电类
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希望考生具备的擅长方面:电子线路设计或软件编程或半导体工艺。
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