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| 姓 名：方光荣 | | 职 务：曾任研究课题副组长、组长 | | 职 称：高级工程师 | | 电 话：010－82547181 | | 电子邮件：grfang@mail.iee.ac.cn |
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学术方向：
从事于微电子专用设备、电子束曝光系统、电子线路、自动化控制、计算机控制等科研工作。对模拟电子线路，数字电路，微弱信号检测及应用，高稳定度电压、电流源及高压电源，计算机接口等都进行了深入的研究。 |
主要成果：
参加的“DY-3“圆形扫描电子束曝光机”获中科院科技进步三等奖；“可变矩形电子束曝光实验系统”获中科院和机电部重大成果奖；作为主要参加者参与的“波形显示技术”在国内首先应用电子束曝光系统，经专家评审认定，属于国内研制电子束曝光系统首先采用七项先进技术之一；作为主要参加者参与的“可变矩形电子束曝光机实用化研究”，获中国科学院科技进步二等奖。 |
已承担或正在承担的课题：
曾参与国家“六五”、“七五”、“八五”重点科技攻关项目“微电子专用设备”的研究工作。参与中国科学院重大创新试点项目“缩小投影电子束曝光系统”的研究工作。 |
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