人才库
 
  人才库
姓  名:方光荣
职  务:曾任研究课题副组长、组长
职  称:高级工程师
电  话:010-82547181
电子邮件:grfang@mail.iee.ac.cn
学术方向:
从事于微电子专用设备、电子束曝光系统、电子线路、自动化控制、计算机控制等科研工作。对模拟电子线路,数字电路,微弱信号检测及应用,高稳定度电压、电流源及高压电源,计算机接口等都进行了深入的研究。
主要成果:
参加的“DY-3“圆形扫描电子束曝光机”获中科院科技进步三等奖;“可变矩形电子束曝光实验系统”获中科院和机电部重大成果奖;作为主要参加者参与的“波形显示技术”在国内首先应用电子束曝光系统,经专家评审认定,属于国内研制电子束曝光系统首先采用七项先进技术之一;作为主要参加者参与的“可变矩形电子束曝光机实用化研究”,获中国科学院科技进步二等奖。
已承担或正在承担的课题:
曾参与国家“六五”、“七五”、“八五”重点科技攻关项目“微电子专用设备”的研究工作。参与中国科学院重大创新试点项目“缩小投影电子束曝光系统”的研究工作。