实验室结构
·电子束曝光技术研究组实…
·电子束曝光技术研究组实…
·电子束曝光技术研究组实…
科研项目
·现有科研项目列表
科研设备
·DY-2000型纳米通用图形发…
·DY-2000型纳米通用图形发…
·DY-2000型纳米通用图形发…
·从JEOL公司引进的JBX-6A…
学术交流
·学术报告
·国际学术交流会议
相关链接
 研究组简介
电子束曝光技术研究组简介
  中国科学院电工研究所微纳加工实验室电子束曝光技术组主要从事微米、纳米尺度下微细加工技术的研究,发展在微米、纳米尺度下具有自主知识产权的专有技术,从而为我国微细加工设备的研究开发提供战略性技术储备。 中国科学院电工研究所电子束曝光技术组是国家级专门从事电子束曝光技术研究的课题组,本课题组科研人…… 详细内容 >>
 
 最新动态
我所荣获“北京2008奥运会、残奥会信息无障碍辅助技术应用示范单位”称号
   7月23日,由中国残疾人联合会和中国互联网协会联合举办的 “北京2008奥运会、残奥会信息无障碍网站行动暨辅助技术应用发布会”在中国残联召开,我所因研制的新型盲文打印系统将应用于北京奥运会和残奥会荣获“ 北京2008奥运会、残奥会信息无障碍辅助技术应用示范单位”称号。    为积……详细内容>>
·我所荣获“北京2008奥运会、残奥会信息无障碍辅助技… [2008-07-28]
·我组与北航合作完成我国第一台实用化电子束(SEM)、离… [2008-01-15]
·第二代多头阵列蘸胶式盲文印刷原理样机研制成功 [2007-07-22]
·蘸胶式盲文印刷系统参展2007中国国际福祉博览会 [2007-05-07]
更  多 >>
 合作交流
学术报告
  韩立  7.31.2008 微型能源研究  王治平 7.31.2008 压电俘能器工作进展报告 ……详细内容>>
·学术报告 [2008-07-31]
·国际学术交流会议 [2008-07-30]
更  多 >>
站内搜索
图片集
更多图片>>