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 科研成果

     

      DY3—圆形扫描电子束曝光系统的研制是中国科学院“六•五”重大科技攻关项目之一,该项目由我所微纳加工技术研究部的科研团队独立完成,并获得1995年中国科学院科技进步三等奖。      

    电子束缩小投影成像曝光实验装置亦系中国科学院创新工程重大项目之一,该装置曾是继美国和日本后,我国科研机构研制成功的国际上第三套同类型装置,该项目也是我课题组独立完成的.

    DJ2 —可变矩形电子束曝光实验系统的研制是我国“七五”重大科技攻关项目之一。这是我所微纳加工技术研究部自行研发的国内第一台可变矩形电子束曝光实验系统。该系统的研制曾获得机械电子工业部重大成果奖,同时该团队也获得了中国科学院重大科研任务先进集体奖。 DJ2—可变矩形电子束曝光实验系统组成部分有:电子光学子系统、无油超高真空子系统、精密激光工件台和自动控制电气子系统和计算机控制子系统。  

    我组研制的DY5—亚微米圆形扫描电子束曝光机亦曾荣获1989年度中国科学院科技进步二等奖。该系统包括有电子光学系统、激光测量精密工件台、PC微型计算机和完善的软件系统,该仪器能制作0.1mm—0.3mm的线条。

    下面是我课题组近期完成的项目内容。



·以纳米生物医学为核心的多功能微纳尺度三维操作、表征及加工系统项目验收成功 [2008-07-29]
·我组与北航合作完成我国第一台实用化电子束(SEM)、离子束(FIB)双束系统集成工作 [2008-07-25]
·DY-2000型纳米通用图形发生器与HITACH公司的S3000型电镜搭建的电子束曝光系统 [2008-01-17]
·DY-2000型纳米通用图形发生器与国产KYKY-2800型电镜搭建的电子束曝光系统 [2008-01-17]
·DY-2000型纳米通用图形发生器与JEOL公司的JEM-6360型电镜搭建的电子束曝光系统 [2008-01-17]
 
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