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我组与北航合作完成我国第一台实用化电子束(SEM)、离子束(FIB)双束系统集成工作
  日期:2008-01-15     【背景色 杏仁黄 秋叶褐 胭脂红 芥末绿 天蓝 雪青 灰 银河白(默认色) 】  【字体:
 

 

我国第一台实用化电子束(SEM)、离子束(FIB)双束系统


     

   双束系统刻蚀图片之             双束系统刻蚀图片之
 
会徽                   地图-线径39nm
近日,我组利用子束曝光技方面累的经验,与北京航空航天大合作完成了我第一台用化子束SEM、离子束(FIB)束系的集成工作。
离子束技是微加工方面的重要科手段SEM/FIB设备可以充分发挥了聚焦离子束和子束的长处,在高分辨率SEM像的监控下进行FIB的微加工,与图形发生器配套使用可制备纳米级图形。该装置主要用于器件制作和研究、材料科和生命科等研究
和北京航空航天大合作,开展了双束系统集成的研究工作,在进电和离子基础上的方法完成了我国首个实用化双束系的集成工作。目前,项在北京航空航天大物理系进行基础究工作。

 
0.45086812973022