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电子束曝光技术研究组实验室结构
  日期:2014-04-24     【背景色 杏仁黄 秋叶褐 胭脂红 芥末绿 天蓝 雪青 灰 银河白(默认色) 】  【字体:
 

   国 科学院电工研究所微纳加工实验室主要从事微米、纳米尺度下加工技术的研究,发展具有自主知识产权的专有技术,为我国微细加工设备的研究开发提供战略性技术 储备。同时探索微纳米加工技术在微机电系统和生命科学仪器中的应用。主要研究方向有:纳米级电子束曝光机、微机电系统、DNA生命科学仪器和扫描探针显微技术。

  仪器制造人力技术方向结构管理

  电子电路设计、机械设计、真空系统设计、软件设计

  微纳加工实验室使用结构管理

  超净间管理、电子束制版间管理、工艺处理间管理


 
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